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Caractérisation morphologique et structurale de dépôts de silicium sur poudres réalisés par CVD en lit fluidisé

Rossignol, Cécile and Cadoret, Loic and Verelst, Marc and Dexpert-Ghys, Jeannette and Caussat, Brigitte Caractérisation morphologique et structurale de dépôts de silicium sur poudres réalisés par CVD en lit fluidisé. (2006) In: Matériaux 2006 - Colloque 03 - Maîtrise des microstructures des matériaux : du laboratoire au procédé industriel., 13-17 novembre 2006, Dijon . (Unpublished)

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Official URL: http://www.ffmateriaux.org/SiteM2006/presentation.htm

Abstract

Les résultats présentés portent sur la caractérisation fine de dépôts de silicium formés par CVD (Chemical Vapor Deposition) en lit fluidisé sur des poudres de 300 μm de diamètre moyen d’alumine Al2O3 et de 0,5 μm de dioxyde de titane TiO2. L’objectif est de former des dépôts continus sans perte de la granulométrie initiale. La morphologie des dépôts, leur composition chimique, leur épaisseur, leur agencement à la surface des poudres et leur état cristallin seront caractérisés par des analyses de diffraction des rayons X, MEB, FT-IR et Raman.

Item Type:Conference or Workshop Item (Paper)
Additional Information:Sur le site Matériaux 2006: "Nous préparons actuellement, le CD-ROM qui sera remis aux participants le jour du Congrès et qui comprendra les textes étendus des communications Orales et par Affiche"
Audience (conference):National conference without published proceedings
Uncontrolled Keywords:
Institution:Université de Toulouse > Institut National Polytechnique de Toulouse - Toulouse INP (FRANCE)
Université de Toulouse > Université Toulouse III - Paul Sabatier - UT3 (FRANCE)
French research institutions > Centre National de la Recherche Scientifique - CNRS (FRANCE)
Laboratory name:
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Deposited On:30 Jun 2009 09:11

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