Vibro-fluidisation et traitement CVD de micro-poudres

Abstract

Cette étude vise à mettre au point un procédé performant pour revêtir individuellement les grains de micro-poudres par des dépôts très fins de matériaux divers par CVD (Dépôt Chimique à partir d’une phase vapeur), en lit fluidisé vibré. Des résultats relatifs au dépôt de silicium à partir de silane SiH4 sur des poudres d’alumine de 342 microns de diamètre moyen sont tout d’abord présentés, dans le but de trouver des conditions de dépôt optimales pour des poudres microniques. Une étude hydrodynamique est ensuite résumée, visant à trouver les conditions de mise en vibro-fluidisation les plus performantes possibles pour des poudres de TiO2 et d’alumine, respectivement de 0,5 microns et 2,4 microns de diamètre moyen. Des conditions optimales de mise en vibro fluidisation ont été trouvées permettant de minimiser la taille des agglomérats dynamiques qui se forment lors de la mise en fluidisation de ces poudres. De premiers résultats de dépôts CVD de silicium à partir de silane sur les poudres de TiO2 submicroniques en lit vibro fluidisé sont enfin présentés, démontrant que la granulométrie originelle des poudres peut être préservée. Les potentialités de ce procédé pour traiter des matériaux microdivisés paraissent ainsi prometteuses.