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Revêtement d’alumine sur poudre de silice par dépôt chimique à partir d’une phase vapeur en lit fluidisé : influence de la température de dépôt

Rodriguez, Philippe and Caussat, Brigitte and Ablitzer, Carine and Iltis, Xavière and Brothier, Meryl Revêtement d’alumine sur poudre de silice par dépôt chimique à partir d’une phase vapeur en lit fluidisé : influence de la température de dépôt. In: Science et Technologie des Poudres et Matériaux Frittés STP 2012, 4-6 Jul 2012, Toulouse, France .

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Abstract

Le procédé de CVD (Chemical Vapour Deposition) en lit fluidisé a été utilisé pour revêtir des poudres de silice appartenant au groupe B de Geldart par de l'alumine. Le précurseur utilisé a été de l'acétylacétonate d’aluminium dilué dans de l'argon. L'influence de la température de dépôt a été étudiée dans une gamme peu explorée dans la littérature, entre 400 et 620 °C. Les poudres avant et après dépôt ont été analysées par MEB-FEG, spectroscopie Infra Rouge à Transformée de Fourier et analyse chimique ICP-AES. Le dépôt s'est révélé continu et d'épaisseur uniforme sur l'ensemble des poudres. Le rendement en masse d’aluminium déposé sur les poudres par rapport à la masse injectée augmente avec la température (entre 42 et 86 %), tout comme l'épaisseur déposée. Celle-ci est inférieure à 300 nm pour les dépôts réalisés à des températures inférieures ou égales à 500 °C et entre 500 et 700 nm à 600°C et 620 °C. Dans tous les cas, du carbone est présent dans les dépôts, provenant d'une décomposition imparfaite du précurseur. La morphologie du dépôt en surface des poudres varie aussi avec la température. Elle est de type 2D lamellaire en dessous de 600 °C et de type 3D nodulaire à 600 et 620 °C.

Item Type:Conference or Workshop Item (Paper)
Audience (conference):National conference without published proceedings
Uncontrolled Keywords:
Institution:French research institutions > Commissariat à l'Energie Atomique et aux énergies alternatives - CEA
French research institutions > Centre National de la Recherche Scientifique - CNRS
Université de Toulouse > Institut National Polytechnique de Toulouse - INPT
Université de Toulouse > Université Paul Sabatier-Toulouse III - UPS
Laboratory name:
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Deposited By: Brigitte CAUSSAT-BONNANS

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