CNRS - INPT Dispositif de fournitures de vapeur d'un précurseur solide à un appareil de traitement. (2007) FR2878453 (B1) .
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| Item Type: | Patent |
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| Uncontrolled Keywords: | |
| Institution: | Université de Toulouse > Institut National Polytechnique de Toulouse - INPT Other partners > University of Minnesota (USA) French research institutions > Centre National de la Recherche Scientifique - CNRS |
| Laboratory name: | Centre Interuniversitaire de Recherche et d'Ingénierie des Matériaux - CIRIMAT (Toulouse, France) Laboratoire de Génie Chimique - LGC (Toulouse, France) - Génie des Interfaces & Milieux Divisés (GIMD) - CVD |
| Statistics: | download |
| Deposited By: | Brigitte CAUSSAT-BONNANS |
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